Jenoptik stellt jetzt die mikrooptischen Homogenisierer CaF2 vor, die in einem weiterentwickelten technologischen Fertigungsverfahren hergestellt werden. Dies bedient die Nachfrage nach kundenspezifischer Mikrooptik mit freien Geometrien und hoher Genauigkeit.

Homogenisierer, wie beispielsweise Mikrolinsen-Arrays und Diffraktive Optische Elemente (DOE), werden in optischen Systemen von Fertigungsausrüstungen für Halbleiter und Flat Panel Displays eingesetzt (z. B. Wafer-, Masken- und Panel-Inspektionssysteme, Lithografieanlagen zur hochgenauen Erzeugung kleiner Strukturen). Homogenisierer spielen eine hervorragende Rolle in den Beleuchtungssystemen und dienen der definierten Verteilung des Lichtes über einen festgelegten Bereich in einer bestimmten Ebene des Strahlenganges. Die hierfür eingesetzten optischen Bauelemente müssen dauerhaft hohe Lebensdauer und eine optimale Transmission der kurzwelligen Laserstrahlung gewährleisten. CaF2 bietet im Vergleich mit anderen optischen Materialien eine höhere Zerstörschwelle und damit eine bessere Langzeitstabilität der optischen Eigenschaften.

Jenoptik zeigt mit verschiedenen CaF2 Homogenisierer-Anordnungen die flexiblen Fertigungsmöglichkeiten mikrooptischer Strukturen in CaF2 insbesondere für Wellenlängen im Bereich von 193-266 Nanometern. Mit einem fortschrittlichen Mikrostrukturierungsprozess in der Kombination von Grautontechnologie und einem hochentwickelten wafer-basierten Ätzprozess können kundenspezifische refraktive, diffraktive und hybride Strukturen auch mit asymmetrischen Formen und Krümmungen realisiert werden. Der Vorteil dieser Methode liegt vor allem in der Erzeugung freier Geometrien sowie in der Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Mikrostrukturierungsprozesse in CaF2. Dies ermöglicht vielfältige Strahlverteilungsmuster und eröffnet somit neue Möglichkeiten bei der Optimierung der Systemperformance in Halbleiterfertigungsausrüstungen.

Darüber hinaus stehen Standardfertigungsprozesse für verschiedene optische Materialien, wie SiO2, GaAs, GaP Al2O3, ZnS, ZnSe, Ge, Chalkogenidglas (IG6) etc. zur Verfügung. Qualifizierte Tests bei der jeweiligen Einsatzwellenlänge sichern die Qualität der optischen Produkteigenschaften.

Durch Investition in eine moderne Fertigungsumgebung und speziell geschulte Fachleute unterstützt Jenoptik als Entwicklungs- und Produktionspartner den gesamten Prozess - von der Designphase und Prototypenfertigung bis hin zur Serienfertigung.

Weitere Informationen unter www.jenoptik.com/